绝压模组是一款独特LGA封装的压力芯片模组,其MEMS芯片利用自主研发的SENSA 工艺制备,搭载专用集成电路调理芯片,具有精度高、稳定性好、优异温度补偿等优点,可根据客户需求将其封装为所需压力传感器形式,实现特定比例输出信号的标定。本系列产品在补偿温区(-40°C至125℃)、全量程范围内精度小于± 2.0%。 差压模组是一款基于陶瓷材料的LGA封装形式的、高稳定性的微差压芯片模组,其MEMS 芯片利用先进的世界通用的全硅压力传感器工艺制备,搭载专用集成电路调理芯片,具有精度高、稳定性好、优异温度补偿等优点,可根据客户需求将其封装为所需压力传感器形式,实现特定比例输出信号的标定。 本系列产品在补偿温区(-40°C至125℃)、全量程范围内精度小于± 3.0%
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充油介质隔离式压力传感器模组,其核心敏感原件由自主研发的高性能MEMS压力传感芯片搭载电桥放大标定专用集成电路调理芯片而成。压力感应模组通过不锈钢金属膜片进行介质隔离,能在各种介质下提供良好的线性模拟输出,是一款面向民用、低成本的压力传感器。
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